目的・活動

持続的な社会の発展のためには低炭素社会を目指した経済活動が求められている。そのためには電気エネルギーの効率的な利用が求められ、SiC（炭化ケイ素）パワーデバイスが有効であるが、高脆性材料であることからSiCインゴットからSiC基板へのスライシングに関する生産性が低い。そこで我々は、加工液に脱イオン水のみを用いることから環境負荷が少なく、細線化による生産性向上が期待できるマルチワイヤ放電スライシング法の開発に取り組んでいる。効率的な放電エネルギー供給と装置構成の簡素化を両立できる新給電方式を提案し、本手法の産業応用に必要な要素技術を議論することで、生産性の向上と高品位なSiC基板の製造を可能とする革新的生産技術の普及に貢献できる。

今後の計画

革新的なグループ給電方式の実用展開のためには、放電状態を適切に検出し、それを加工プロセスへインラインでフィードバックすることが求められる。このプロセス制御方式の更なる高精度化を実現するための技術革新を進め、これからのディジタルものつくりに求められる革新的生産技術を実現する。